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MPCq控制器
MPCq控制器能够同时操作两个独立的配有钛升华泵的离子泵。与之相匹配的离子泵的抽速可达1200 l/s。前面板显示屏能够直接读出离子泵的电压、电流或压力。
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商品信息
商品描述
MPCq控制器能够同时操作两个独立的配有钛升华泵的离子泵。与之相匹配的离子泵的抽速可达1200 l/s。前面板显示屏能够直接读出离子泵的电压、电流或压力。
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